类金刚石薄膜的微/纳米机械和摩擦性能(英文)

摘要

采用真空磁过滤等离子电弧沉积的方法在 9Cr1 8钢上沉积不同厚度的 DLC膜。为了检测成膜质量 ,在较宽的载荷范围内分别使用显微硬度、纳米压痕和划痕技术表征 9Cr1 8钢和 DLC/9Cr1 8的机械和摩擦性能。结果显示 ,9Cr1 8和 DLC的纳米硬度和弹性模量分别为 8GPa、2 5 0 GPa和60 GPa、60 0 GPa,9Cr1 8、DLC和有机膜的摩擦系数分别为 0 .3 5、0 .2 0和 0 .1 3。纳米压痕和划痕技术能为 DLC/ 9Cr1 8提供丰富的近表面弹塑性变形和摩擦、磨损等信息。DLC/ 9Cr1 8的机械和摩擦性能的研究可以用来评估膜的承载和抗磨损性能。