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俞锦; 王旭永; 章志新; 杨钦廉;
上海交通大学,机电控制研究所,上海,200030;
日本横滨JECT,CO.,LTD;
广东梅雁TFT有限公司;
伺服注塑机; 模型; 干扰观测器; 计量控制;
机译:使用基于误差的干扰观测器的改进的纳米间隙伺服系统,用于基于固体浸没透镜的等离子平版印刷术的高速成像
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