氟掺杂氧化锡薄膜的椭偏光谱研究

摘要

采用常压化学气相沉积法在玻璃基底上沉积氟掺杂氧化锡（FTO）薄膜。利用椭偏法测试了玻璃基底的折射率以及薄膜的厚度和折射率。建立了FTO薄膜的四层结构模型。采用Tauc—Lorentz色散模型对椭偏参量ψ和△进行了拟合。拟合数据和实测数据吻合良好。根据拟合结果得到，玻璃基底的折射率为1．514。FTO薄膜的折射率在1．63-1．88之间。在633nm波长处，折射率n=1．681，总膜厚为221．5nm。