Исследование слоев нанокомпозита пористый кремний-оксид олова с помощью метода спектральной эллипсометрии

摘要

С помощью метода спектральной эллипсометрии исследовано послойное распределение компонентов в нанокомпозите пористый кремний—оксид олова, полученном тремя методами: химического парофазного осаждения, молекулярного наслаивания и магнетронного распыления. Показано, что в нанокомпозитах, сформированных данными методами, пО проникает на глубину более 400 нт и неравномерно распределяется по толщине пористого слоя. Наибольшей глубиной проникновения и однородностью послойного распределения пО характеризуется нанокомпозит, полученный по методу магнетронного распыления с дополнительной термообработкой.