单振子多自由度球型超声波电机的研究

摘要

采用三个不同方向的单振子进行驱动，以运动矢量合成的形式实现多自由度运动的超声波电机，分析了产生多自由度运动的原理，设计、研制了一种多自由度球型超声波电机，并进行了实验研究。实验结果表明能实现多自由度。