直流等离子射流法制作金刚石薄膜

摘要

近些年来人造金刚石薄膜研究巳继高温超导材科之后，成为全世界材料科学的一大热门课题。形成这样一个新高潮的原因就是金刚石薄膜具有一系列令人瞩目的特性，它强烈地吸引着全世界的科学工作者，它具有高的硬度、高的弹性模量、高的导热率(可高选铜的4倍)，高的电阻率，对波长范围很宽的光都吴有良好的透光性能，有着高的抗辐照能力及极高的饱和电子速度，使其在光学，声学振膜、刀具模具的硬涂层及高温半导体的应用上有着广阔的前景。