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张辉; 巩春志; 王晓波; 张炜鑫; 田修波;
哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室;
中国工程物理研究院材料研究所;
CRALN; 高功率脉冲磁控溅射; 基体偏压; 阻氢; 高温抗氧化;
机译:偏压对双胞胎术反应高功率脉冲磁控溅射制备的Al2O3薄膜微结构和光学性能的影响
机译:高功率脉冲磁控溅射P型γ-氧化钛薄膜:基板偏压和后退火对微观结构特性和光电性能的影响
机译:调制结构对高功率脉冲磁控溅射制备的TiAlsin / CrN薄膜微结构和力学性能的影响
机译:不同脉冲偏压下双极脉冲双磁控溅射(BPDMS)制备的CRALN涂层的结构和性能
机译:脉冲反应直流磁控溅射技术制备的高介电常数薄膜的沉积和表征。
机译:AlN中间层对大功率脉冲磁控溅射SiC薄膜结构和化学性能的影响
机译:在没有衬底加热和偏压的情况下生长的完全致密,无刻面的111-纹理的高功率脉冲磁控溅射TiN薄膜
机译:射频和直流磁控溅射制备电解质和电极薄膜的性能
机译:高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)在多孔基体中进行深金属沉积,金属催化剂浸渍的多孔基质及其用途
机译:制造薄膜太阳能电池的方法,涉及通过在脉冲期间具有特定脉冲频率和功率密度的脉冲磁控溅射在保护层上沉积透明导电氧化物层作为前接触层。
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