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集成电路制作技术的发展与超净高纯试剂的应用研究

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本文对集成电路技术发展状况进行了分析,同时对超净高纯试剂在集成电路制作中应用情况进行了探究,以供参考.

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来源
《中国战略新兴产业》 |2019年第12期|173-173|共1页
作者
傅华;
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作者单位

苏州晶瑞化学股份有限公司;

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正文语种 chi
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关键词
集成电路; 制作技术; 超高纯试剂; 应用; 发展;

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