氧化石墨烯在半导体加工用O形圈全氟醚橡胶材料中的应用

摘要

研究氧化石墨烯(GO)用量对GO/全氟醚橡胶(FFKM)复合材料物理性能、压缩永久变形和耐介质性能的影响。结果表明:随着GO用量的增大,GO/FFKM复合材料的邵尔A型硬度和高温压缩永久变形变化不大,拉伸强度和撕裂强度先增大后减小;当GO用量为1份时,GO/FFKM复合材料的拉伸强度和撕裂强度最大,耐介质性能较好。GO/FFKM复合材料适用于制备半导体加工用O形圈。