高纯碳化硅粉体合成方法研究现状综述

摘要

SiC粉体的纯度对生长SiC单晶晶体质量有重要影响。本文介绍了SiC粉体的多种合成方法,并主要阐述了高纯SiC粉体的两种合成方法,最后对高纯SiC粉体的合成工艺进行了展望。