新技术与成果

         

摘要

铝或铝合金溅射靶本发明的目的是提供能够抑制突发性粒子产生的高纯度铝或高纯度铝合金溅射靶中的夹杂物,特别是氧化物为产生粒子的主要原因,而且,粗略的分布于靶中的石墨。氧化铝复合夹杂物会引起突发性粒

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号