微进给伺服机构的在线误差前馈补偿

摘要

针对微进给伺服机构的基本特性，采用ＰＩＤ校正控制和前馈补偿控制。在此基础上，为进一步减小微进给服机构的跟踪误差，提出在线误差前馈补偿控制方法。理论分析证明，该方法可以提高微进给伺服机构的控制精度而不影响系统的稳定性。实验结果表明，采用这种误差补偿方法，系统控制精度可以达到±３μｍ。