汽相生长金刚石膜中的高温灯丝

摘要

热丝CVD（Chemical Vapor Deposition）法生长金刚石，热灯丝常用钨丝。在实验中，实验人员发现了钨丝的局限性，于是又选用了钽丝。经实验后，发现钽丝有更高的灯丝温度，但又具有自己的缺限。而将钨丝与钽丝结合起来，不仅能使灯丝温度更高，更兼有钨的优良性能。