打破尼康和佳能垄断!上海电气制成首台国产6代曝光机

摘要

日前，由上海电气集团下属上海微电子装备（集团）股份有限公司自主研发的具有世界先进水平的首台平板显示6代投影曝光机正式发运。这对我国的平板显示制造产业及装备产业发展都有重大意义。长期以来，我国平板显示制造的中高端设备主要依靠进口，特别是投影曝光机。