用于无线通信的MEMS技术:IMEC的研究领域

摘要

微电子机械系统(MEMS)技术,简称微系统,是基于较先进的IC制造技术来生成体积小,重量轻,性能高的元件或系统。用微系统技术来制造射频(RF)元件,包括开关,可变电容和滤波器,用于替代那些应用在无线前端的体积大,价格高的分离无源射频元件,这是全球通信领域正在努力的大方向。本文简要介绍在IMEC,一个位于比利时鲁汶的微电子研究中心,所进行的射频微系统研究发展工作。本文不仅给出用于低G赫兹范围的射频微系统开关