全球首款场选择60W-90W沉浸式光源被亚洲大型芯片商采用

摘要

Cymer宣布全球首款场选择60W-90W沉浸式光源——XLR 600ix已集成至Nikon扫描光刻机，并成功在一家大型亚洲芯片商中投入使用。该里程碑标致着此类光源得到了主流芯片商的采用，并表明芯片商对于Cymer XLR平台的认可。