克服3D NAND规模化生产面临的挑战

摘要

自从几年前面世以来,3D NAND由于能够有效增加存储设备的位密度,已发展成为一种主流技术。随着3D结构制成工艺的进步和位成本的降低,3D NAND技术的普及程度也被加快了。然而,尽管具有诸多优势,3D NAND整体工艺复杂、资本投入高,因此制造厂商在流程控制、