基于时间测量的扫描式厚度测量方法的精度分析及设计方法

摘要

本文试图通过对厚度测量系统的原理、结构、信号处理和误差补偿等诸环节的设计分析，来叙述扫描方式的厚度测量系统的设计方法和改善系统精度的途径。