工作条件对308nm紫外灯管和氯化氙准分子灯的效率的影响

摘要

使用一维流体模型,在大范围的工作条件下对Xe-Cl-2混合物中的阻挡放电的电介质进行了数值模拟,以此研究介质阻挡放电对XeCl*准分子辐射的影响.文章提出了一种简化的化学动力学方案,并用长期化学动力学进行了基准测试.结果表明:放电特性的精度损失有限,但计算时间比完整版本快2倍.模拟结果表明:放电呈典型的发光状.在故障期间,阴极下降区域收缩至85μm.此时,鞘中XeCl*分子的密度最大,XeCl*的主要通道是鱼叉反应.结果表明:在低气压、高交流电压频率和高间隙宽度条件下,紫外灯管辐射效率最高.辐射效率与源交流电压的幅值关系不大.