变压吸附在改良西门子法生产多晶硅中的应用

摘要

近期兴起的一种变压吸附在工业当中运用较多,它是一种气体分离技术,主要是物理和化学的渗流理论在工业中的应用,变压吸附的发展日益提升,自从20世纪70年代以后,变压吸附技术在工业生产中有着举足轻重的地位,在业界当中受到较多的关注。文章阐述了变压吸附的原理、变压吸附在生产多晶硅中的应用及工艺流程。