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三氯氢硅生产技术及市场

         

摘要

介绍了三氯氢硅的生产原理及催化反应机理,阐述了沸腾氯化法生产三氯氢硅的工艺和流程,并对市场前景进行了分析.指出我国应加强对三氯氢硅生产技术的研究及下游产业链的开发,缩小与国外先进水平的差距并形成良好的产业循环.

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