硼掺杂金刚石薄膜电极电化学特性研究

摘要

金刚石是一种集多种优良物理和化学性能于一体的优越功能材料。近年来,低温低压法,尤其是CVD(化学蒸气沉积)法人工合成金刚石薄膜技术的重大突破,使金刚石的广泛应用成为可能。其应用范围已涉及机械、光学、声学及热学等诸多领域。CVD金刚石的掺杂技术发展更使其在电学和半导体器件等方面的应用有所扩展。