二氧化碳薄膜微电极器件的微加工制作技术及特性研究

摘要

应用微机械加工技术发展新一代的微传感器是当前国际传感器技术发展的重要趋势。微化学传感器有许多优点,而用微加工技术制作的微器件由于构型的一致性和均匀性,对于电流型工作模式的化学传感器尤其诱人。二氧化碳检测在生物医学、环境监测和生化发酵工程中具有重要意义,迄今使用的CO_2气敏器件大多是Severinghaus型气敏电极,响应速度慢、选择性差、灵敏度不高。