超纯PFA衬里及其在电子化学品领域中的应用

摘要

介绍了可熔性聚四氟乙烯(PFA)的特性,说明了PFA材料的耐腐蚀性能、金属离子析出水平、加工性能；对超纯PFA与普通PFA材料进行了比较,叙述了钢制设备的超纯PFA衬里结构及制造流程.介绍了常见的电子化学品,以及超纯PFA衬里在电子化学品中的应用情况.认为随着消费电子领域日趋繁荣及全球IC产业逐步转向中国大陆,对电子化学品的需求也越来越大,超纯PFA衬里的市场将迎来良好的发展时期.