一种可以正负互用的水型化学增幅抗蚀剂的研究

摘要

研究了一种由甲酚醛树脂、六甲氧基甲基三聚氰胺(HMMM)、六氟磷酸根二苯碘盐和光敏剂组成的水型紫外化学增幅抗蚀剂, 发现二苯基碘盐不仅可以作为光敏产酸物, 而且可以作为阻溶剂. 用碘盐作为光敏产酸物, 光解产生的酸可以在中烘时催化甲酚醛树脂与HMMM的交联反应;用氢氧化钠-乙醇水溶液显影可以得到负性光刻图形;采用碘盐作为阻溶剂, 可阻止非曝光区的胶膜溶解在显影液中, 用稀的氢氧化钠水溶液显影可以得到正性光刻图形. 通过优化后的光刻工艺条件, 采用不同的显影液和光刻工艺流程, 实现了同一光致抗蚀剂的正负性反转, 并分别得到负性和正性光刻图形.