氢化纳米硅薄膜及其太阳电池

摘要

综述了纳米硅(nc-Si:H)薄膜的结构、性质、制备方法,同时介绍了纳米硅薄膜太阳能电池的结构特点、优势与研究现状,最后展望了nc-Si:H薄膜及其器件的应用前景。