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高纯电子气体中金属杂质分析方法概述

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本文概述了高纯电子气体中金属杂质的来源及测定特种气体中金属粒子的前处理方法和检测手段.选定检测手段从最初的单一仪器检测逐渐过渡到仪器间的联合检测.

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来源
《化工管理》|2015年第21期|68,70|共2页
作者
张文娟;
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作者单位

贵州理工学院化学工程学院,贵州贵阳550003;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
高纯气体; 金属粒子; 检测方法;

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