反歧化法制备三氯氢硅工艺的研究与优化

摘要

以改良西门子法多晶硅生产过程中副产物二氯二氢硅和四氯化硅为原料生产三氯氢硅.应用Aspen Plus软件进行工艺模拟和优化,同时进行催化剂的选型.采用固定床反应器,对模拟结果进行优化,以二氯二氢硅空速、反应温度、反应压力为试验参数进行正交试验,确定最佳工艺条件.采用气相色谱对原料和产物进行检测.实际生产结果表明:在最佳反应条件即反应温度为55℃、反应压力为0.7 MPa(G)、反应物空速为250 kg/h条件下,转化率均介于98％-99％之间,满足实际生产的需求.