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溅射SiOx薄膜氧含量与红外特性关系研究

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用反应溅射法制成了SiO2薄膜,研究其傅立叶变换红外吸收光谱图特性.Si-O-Si键的伸缩振动吸收峰和弯曲振动吸收峰分别位于1 100cm-1和600 cm-1附近.结合XPS定量测试结果讨论了吸收峰与薄膜中氧含量的关系,目的用FTIR非破坏性快速方便预测SiOx薄膜的化学配比.

著录项

来源
《陶瓷》 |2007年第9期|27-29|共3页
作者
王慧; 刘静;
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作者单位

中国建筑材料科学研究总院石英重点实验室,北京,100024;

中国建筑材料科学研究总院石英重点实验室,北京,100024;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类硅酸盐工业;
关键词
反应溅射法; SiO2薄膜; XPS; FTIR;

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