基于原子力显微镜的FTO薄膜表面形貌分析

摘要

原子力显微镜（AFM）是对材料表面进行高分辨研究的有效工具。本文利用原子力显微镜对Fro（掺杂氟的SnO2）导电薄膜样品进行扫描，分别用topographic图像、friction图像、deflection图像、phase图像和三维图像对其进行了表面形貌表征。