薄膜锂离子电池用LiCoO2靶材的制备

摘要

分别采用热压和冷压烧结法制备出LiCoO2靶材,其中热压法使用了不同材质的模具,冷压烧结法以环氧树脂为粘结剂,确定了粘接剂的最佳添加量为1.0%.对制得的靶材进行了XRD、热重及SEM分析,并用排水法测量了靶材的密度.实验结果表明:热压法烧结时,使用SiC模具制备的靶材密度为5.21 g/cm3;添加1%粘结剂后,使用冷压烧结方法制备的靶材密度为4.89 g/cm3.热压法制备的靶材致密度高于冷压法制备的靶材,烧结程度更深.