新型超精密平面磨削微量进给装置的研制及其特性研究

摘要

介绍了一种用于超精密平面磨削的新型微量进给装置并对其静、动态特性及控制方法进行了研究。实验结果表明：该装置的位移分辨率为１０ｎｍ，重复精度可达００５μｍ。采用“速度前馈＋ＰＩＤ”控制方法后，系统动态特性得到显著提高。