摘 要
Abstract
第1章 绪 论
1.1 课题来源
1.2 课题研究的背景
1.3 KDP晶体超精密机床概述
1.4 微位移机构概述
1.5 本课题研究目标及内容
1.6 本文结构
第2章 刀架静动态特性分析
2.1 引言
2.2 刀架静力有限元分析
2.3 刀轴模态有限元分析
2.4 刀架动态特性实验研究
2.5 本章小结
第3章 螺旋-斜面组合式微进给刀架研制
3.1 引言
3.2 微进给刀架方案选择
3.3 斜面机构
3.4 螺旋-斜面组合式微进给装置结构设计
3.5 刀轴模态有限元分析
3.6 微进给刀架实验研究
3.7 本章小结
第4章 压电陶瓷式微进给刀架研制
4.1 引言
4.2 压电陶瓷及其基本特性
4.3 微位移结构方案选择
4.4 压电陶瓷微进给装置设计
4.5 刀轴模态有限元分析
4.6 压电陶瓷式微进给刀架实验研究
4.7 刀架改进总结与分析
4.8 本章小结
结 论
参考文献
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明及使用授权说明
致 谢