声学显微镜及在无损检测中的应用

摘要

介绍了声学显微镜的基本结构、工作原理、测试技术及其一些典型应用．结合清华大学电子工程系近年来研制成功的ＴＨＳＡＭ声显微镜系列说明了这种新型检测设备具有的一些特殊功能，在航天、航空、电子等领域具有广阔的应用前景．