硅微晶玻璃超精密磨削技术的研究

摘要

介绍了应用铸铁结合剂金刚石微粉砂轮和在线电解修整（ＥｌｅｃｔｒｏｌｙｔｉｃＩｎ－ＰｒｏｃｅｓｓＤｒｅｓｓｉｎｇ，简称ＥＬＩＤ）磨削技术对硅微晶玻璃材料零件进行的超精密磨削实验，通过改变磨削参数并用力和声发射信号对磨削过程进行在线检测，对硅微晶玻璃材料的磨削进行了分析研究，实验结果表明ＥＬＩＤ磨削方法磨削硅微晶玻璃可以达到良好的镜面磨削效果。