首页> 中文期刊>航空精密制造技术 >CMP加工过程中加工载荷对液膜厚度的影响分析

CMP加工过程中加工载荷对液膜厚度的影响分析

开具论文收录证明 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文采用激光诱导荧光技术(LIF)来研究抛光参数对化学机械抛光加工区液膜厚度的影响.研究表明,抛光液膜厚度随着抛光载荷的增加而减少,减小的趋势随抛光载荷的提高而减缓.同时液膜厚度随着抛光速度的增加而变大.通过抛光参数的变化对抛光液液膜厚度影响的分析,为改善CMP加工工艺提供理论性的依据.

著录项

来源
《航空精密制造技术》|2009年第1期|17-19|共3页
作者
郁炜; 吕迅; 楼飞燕;
展开▼
作者单位

浙江工业大学浙西分校信息与电子系,浙江衢州 324000;

浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭州 310032;

浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭州 310032;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类抛光;
关键词
化学机械抛光; 液膜厚度; 抛光栽荷; 激光诱导荧光;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. CMP加工过程中抛光速度对液膜厚度的影响分析 [J] . 郁炜 ,吕迅 ,楼飞燕 . 轻工机械 . 2008,第006期
2. CMP加工过程中晶片形状对抛光液流动特性的影响 [J] . 郁炜 ,吕迅 ,楼飞燕 . 轻工机械 . 2008,第005期
3. CMP加工过程中均匀去除率的研究 [J] . 种宝春 . 电子工业专用设备 . 2007,第001期
4. 蓝宝石加工过程中金刚石线锯生命周期表面形貌及抗拉极限载荷实验研究 [J] . 倪永明 ,黎振 ,李国和 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2017,第004期
5. 线切割加工工艺中加工参数对加工质量的影响分析及合理选择 [J] . 吴俊超 ,陈爱霞 ,邓锐 . 广西轻工业 . 2009,第001期
6. 灰铸铁中的石墨在切削加工过程中的变形规律及其对切削加工性能的影响 [C] . 王金国 ,逄伟 ,于家祥 . 2010中国铸造活动周 . 2010
7. H13钢加工过程中刀具磨损研究及加工表面粗糙度预测 [A] . 李鑫 . 2020

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号