Ti/Mo的离子束混合研究

摘要

采用Ｘｅ＾＋（３００ＫｅＶ）和Ａｒ＾＋（９０－１２０ＫｅＶ）离子束，在室温下轰击双层型及多层膜样品，离子注量范围为１×１０＾１５－１×１０＾２７ｃｍ＾－２。用俄歇电子能谱，Ｘ射线光电子能谱及卢瑟福背散射法分析成分的深度分布，并用透射电镜观察多层膜的结构。结果表明，体系中主要发生级联混合，对多层膜有Ｑ。而双层样吕，则为Ｄｔ．用Ｘｅ＾＋混合时，多层膜中部的混合显著多于两侧，与ＴＲＩＭ计算的能量沉积密度