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考虑溅射和碰撞损失的j×B离子引出收集

         

摘要

研究了j×B法离子引出收集过程.影响引出过程收集率的两个主要因素是碰撞和溅射.对引出过程中收集板的收集情况进行了数值模拟,给出了收集板电参数对引出时间、碰撞与溅射的影响.收集板电参数对引出时间和收集率有很大影响,电流js及其变化率的增加对离子引出是有利的.总收集率随等离子体密度增大而减小.收集板间距对引出的影响较为复杂,增大极板间距,且限制准直孔径,引出效果得以改善.

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