间歇跳动法制备微球α-C:H涂层

摘要

采用低压等离子体化学气相沉积方法,以反式二丁烯和氢气作为工作气体,利用间歇跳动模式,在直径为(280±50)μm的聚乙烯醇-聚苯乙烯(PVA-PS)双层球表面制备出了30μm厚α-C:H涂层.利用原子力显微镜(AFM)、干涉显微镜和X光照相技术分别对涂层表面形貌、球形度和同心度进行表征,结果表明:当涂层厚度为30 μm时,表面均方根粗糙度低于30 nm;球形度与同心度均优于99%.利用热重分析和傅里叶变换红外光谱仪对其热稳定性和价键结构进行表征,结果表明,α-C:H涂层主要存在sp3 C-H键,在280℃以下,结构成分非常稳定,达到450℃后,则完全石墨化.