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张旭升; 范荣伟; 王艳生;
上海华力集成电路有限公司;
上海201203;
上海华力微电子有限公司;
集成电路制造; 多晶硅侧墙孔洞缺陷; 缺陷检测流程; 28 nm产品; 氧化物沉积工艺;
机译:28nm良率提高的多晶硅工艺中超过80%
机译:钝化/浸没法在管线钢中产生孔洞,并研究该方法导致的孔洞形核和长大
机译:孔洞几何形状对延性材料中孔洞塌陷和热点形成作用的数值研究
机译:28nm多晶硅蚀刻的挑战与解决方案
机译:推进心肌灌注宠物成像改善可逆缺陷检测
机译:磁引导侧墙人工耳蜗植入电极阵列的体外插入力研究。
机译:多晶硅太阳能电池的电致发光纹理化和隐藏缺陷检测
机译:垂直孔洞的孔洞屏蔽计算
机译:带有牙龈轮廓的探头,用于评估人类比人类有意识的动物中口服西伯斯达托的蓄积的方法,以进行研究以评估减少人类口腔以外的动物中的底物蓄积的测试方案的效率,为了改善非动物性动物的口腔健康,并改善非系统性动物工具包的健康。配制的口粮的销售方法,旨在减少非人类动物中牙菌斑的积累,以及用于传达与动物护理员有关使用带有牙龈轮廓的探头的信息
机译:具有改善的孔洞移动性的孔洞运输层的制备方法
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