用于微束的固体核径迹探测器蚀刻技术研究

摘要

采用束流直径与集成电路芯片特征尺度相当的重离子微束进行地面模拟研究是深入研究单粒子效应微观机制的有效手段，可为改善航空微电子器件抗辐射性能提供重要信息。为在原有基础上获得更小尺度的重离子微束，新研制了由不锈钢刀口组装的矩形针孔，其线性尺度小于2μm×2μm。另外，为使重离子微束辐照装置更加完善，对辐照装置进行了改造，内容涉及激光精确定位系统的研制；长工作距离显微镜定位系统的改进；样品平台的改进等。