高温ITO薄膜应变计结构参数影响研究

摘要

以氧化铟锡(ITO)为敏感材料制备的高温薄膜应变计被广泛应用于航空发动机涡轮叶片等热端部件应变测试。为了探究高温ITO薄膜应变计结构参数对其应变灵敏度系数(GF)的影响,采用正交试验法设计了不同敏感栅长度、不同敏感栅数量的高温ITO薄膜应变计,通过仿真分析以及试验验证的方法系统研究了应变计在25℃、600℃、800℃和900℃的差别。结果表明,应变计GF随敏感栅长度的增加而变大,随敏感栅数量的增加而先增大后减小(最优中间值为6栅),最终获得敏感栅长度5mm、敏感栅数量6栅为最佳结构参数,以最佳结构参数制备的高温ITO薄膜应变计在不同温度下的GF均保持在3.2左右。研究结果对高温ITO薄膜应变计的高温性能优化有一定的指导意义。