单晶硅直径控制研究

摘要

直拉法单晶硅制造的具体生产过程是把原料多硅晶块放入石英坩埚中,在单晶炉中加热融化,再将一根直径只有10mm的棒状晶种（称籽晶）浸入融液中,在合适的温度下,融液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶,成为单晶体硅。如果把晶种微微地旋转向上提升,