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低温多晶硅TFT技术的发展

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本文综述低温多晶硅(LTPS)TFT技术的最新进展情况.该技术目前的研究前沿是:(1)制作高性能的TFT;(2)在柔性衬底上制作LTPS TFT;(3)驱动有机发光器件的TFF;(4)LTPS TFT的新应用.同时还展望了LTPS TFT技术的未来发展趋势.

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来源
《现代显示》 |2003年第1期|33-37|共5页
作者
尹盛; 刘陈; 钟志有; 王长安; 徐重阳;
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作者单位

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN321.5;
关键词
低温多晶硅; 薄膜晶体管; 平板显示;

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