ITO在NaOH溶液中阳极与阴极极化过程的电化学行为

摘要

通过循环伏安法等方法研究了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜的电化学行为.获得了ITO薄膜在NaOH溶液中阴极和阳极极化处理前后的循环伏安曲线.采用透射光谱,方块电阻测试,扫描电子显微镜(SEM),能量色散X射线荧光光谱(EDS)与X射线衍射(XRD)表征ITO薄膜经电化学处理后的反应产物.结果表明,ITO薄膜在阳极处理后(约为+1.5 V(vs SCE))保持了稳定的成分和结构.但经阴极处理后(约为-1.5 V(vs SCE))发生了严重的电化学腐蚀,可见光透射率大幅下降,方块电阻增加一个数量级.经SEM、EDS和XRD表征分析,证明阴极处理过程使ITO薄膜中的In3+还原成了In单质.