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姜丽丽; 路忠林; 张凤鸣; 鲁雄;
低温退火; 磷吸杂; 低少子寿命多晶硅; 太阳电池;
机译:低温吸杂与磷扩散吸杂相结合以改进多晶硅
机译:用于低温多晶硅工艺的高功率绿色激光和退火光学系统,用于液晶和有机ELS的低温多晶硅工艺
机译:通过退火磷掺杂的非晶硅化合物在多晶硅晶片中同时进行吸杂和发射极形成
机译:牺牲高温磷扩散吸杂工艺,用于提高多晶硅晶片的寿命
机译:原位热退火工艺对脉冲激光沉积制造CDS Cdte薄膜太阳能电池结构,光学和电性能的影响
机译:使用牺牲多孔硅层的多晶硅磷扩散吸杂工艺
机译:将低温吸杂剂与磷扩散吸杂剂结合使用可改善多晶硅
机译:晶界对多晶硅薄膜电性能的影响。进展报告,1980-1981
机译:具有低表面粗糙度的低温多晶硅的制备方法及低温多晶硅
机译:在多晶硅电阻元件上制造氧化硅和吸杂膜的工艺
机译:连续退火工艺制备的各向异性低,深拉伸性能优异的冷轧钢板
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