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弹道电子发射显微镜对Au/n—Si(100)界面势垒的探测

     

摘要

用弹道电子发射显微镜对Au/n-Si(100界面势垒测试,直接得出定点的势垒特性和纳米尺度的界面图象,通过所测的Ic-V曲线,可得所测点的肖特势垒高度及电荷传输性。界面图象可以显示界面极小范围内势垒的特性。

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