硅衬底的SrTiO3淀积膜的湿敏特性与机理研究

摘要

对无定形多孔ＳｒＴｉＯ３膜电导率随相对湿度的变化进行了理论模型分析，该模型也适用于其他多孔半导体陶瓷材料，实验样品用氩离子束镀膜技术在ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上演积ＳｒＴｉＯ３膜并制成平面型电阻结构，结果表明，在室温下，当相地湿度从１２％变化至５３％时，电流缓慢下降；而当相对湿度从５３％变化至９２％时，电流又显著上升，即在高湿度条件征具有良好的湿敏特性，电流及其在上的上升率随测试频率而增大，吸附响应时间