软X射线辐照引起的InP表面电子态变化

摘要

利用Ｘ光电能谱和紫外光电子能谱研究了软Ｘ射线辐照ＩｎＰ所产生的表面电子态的变化。实验结果表明，软Ｘ射线的照射，对Ｉｎ原子影响不大，而对Ｐ原子影响很大。分析了ＩｎＰ的辐照效应机理，解释了产生上述影响的原因。