场致发射阴极碳纳米管的热化学气相沉积法低温生长

摘要

结合丝网印刷和过滤阴极真空电弧法、离子束溅射方法,在普通玻璃衬底上制备催化剂图案,采用低温热化学气相沉积法(CVD)生长碳纳米管/纤维 (CNTs)薄膜.研究了不同种类催化剂对CNTs薄膜生长及其场发射的影响. 结果表明,在a-C:Co,Ni-Cu和Cu三种催化剂上没有获得明显的CNTs,在外加电场小于4.4 V/μm时没有观察到场发射;而在Ni-Fe及Ni-Cr两种催化剂上获得了大量的CNTs,并且表现出良好的场发射性能,开启电场为2.5 V/μm.这种热CVD有简单、低温等优点,在CNTs场发射显示器的阴极制备中有潜在的应用价值.